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结构陶瓷在压力传感器中的应用
李士忠;石汝军;翟鹏;郭益平;李岩 单　　位： 山东省硅酸盐研究设计院，淄博,255086  山东陶瓷1998年04期  
关键词 结构陶瓷;压力传感器;零力学滞后摘　　要 结构陶瓷作为零力学滞后、低介电绝缘材料，在压力传感器中应用可以降低压力传感器的蠕变现象．提高其反应速度。由于陶瓷烧结体耐高温、耐腐蚀，可以在其上制备微米级导电和绝缘薄膜，使压力传感器的精度和抗冲击、抗过压能力大大提高。其相关技术为其它传感器的小型化、集成化、多功能化奠定了基础。




















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