测试硬件简介－－－探针卡(prober card)

探针卡(prober card) 是晶圆测试(wafer test)中被测芯片和测试机之间的接口.
探针卡对前期测试的开发及后期量产测试的良率的保证都非常重要.
一.下面介绍一常见的几类探针卡。

1.Blade Type : Under 70 pins,low speed
　LOW CURRENT PROBING
  PROBING AT EXTREME TEMPERATURES: > 200ºC
  RF PROBING: > 3 GHZ
  Low cost
  Lead time 1 day
刀片式:结构稳定,抗干扰性好,可用于RF测试。

2.Epoxy Type ; <1000pins
  Large Array /Multi-DUT Probing
  Tight Pitch Applications
  High Temperature Applications
  Lead time 4 weeks for new design
  Repeat order 2 weeks
环氧树脂(悬臂式):比较流行的一种卡,针间的pitch可以做的很小,
同一张卡里针的数量也做的比较多.

3.Vertical Type: >1000 pins or high speed
  Multi-DUT Probing
  Parallel and Grid Array Probing Capacities
  High Accuracy
  High Contact Quality
  By 32 parallel or above
  Lead time 10-12 weeks for new design
垂直式:一张卡了可以做的针的数量非常多，可以做几千个针。针定位精确，
和芯片上pad的接触效果好.
二.探针卡主要的供应商.
Company              Location
K&S              US/TW/China
Cascade              US
WWL              US
FormFactor                   US
Probe2000                   US
JEM            Japan
MJC            Japan
TCL            Japan/China
Thicom            Korea
Siprox            TW
Probe Technology               TW
KTTI            TW
爱普升            TW
Microprobe                   TW
MPI            TW
METEK            TW
MMS (MJC and MPI )               Shanghai
Kimpsion Corp.        TW
Shanghai Yiyuan               Shanghai
NPCL CMAI                   TW

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